发明名称 制备清洁介质的方法以及用于清洁工件的方法和清洁装置
摘要 为了提高制备清洁介质的方法的效率,建议,将清洁气体尤其是空气引入存储器(6)中,并且将加压的清洁液体(38)引入存储器中,用来对处于初始压力之下的清洁气体进行加压。此外还建议了一种对工件进行清洁的方法以及清洁装置。
申请公布号 CN101652192A 申请公布日期 2010.02.17
申请号 CN200880011399.6 申请日期 2008.04.01
申请人 杜尔艾科克林有限公司 发明人 埃贡·卡斯克
分类号 B08B3/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B05B3/02(2006.01)I;B05B7/00(2006.01)I 主分类号 B08B3/00(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 邹 璐;樊卫民
主权项 1.用于制备清洁介质的方法,包括以下方法步骤:-将清洁气体(84)尤其是空气引入存储器(6)中;-将加压的清洁液体(38)引入存储器(6)中,以对处于初始压力之下的清洁气体(84)进行加压。
地址 德国菲尔德施塔特