受激准分子灯

摘要

本发明目的在于提供一种受激准分子灯，在放电容器的暴露在放电空间中的表面上形成紫外线反射膜，能够防止长时间点亮时受激准分子光的均匀性下降。该受激准分子灯的特征在于，在一侧的长边面(12a)的内表面区域形成有紫外线反射膜(20)，在短边面(13a、13b)的内表面区域形成有膜厚比所述一侧的长边面(12a)的与电极(15)对应的内表面区域上形成的紫外线反射膜(20)薄的紫外线反射膜(20)，在另一侧的长边面(12b)上通过不形成所述紫外线反射膜(20)而形成光射出窗(17)。

主权项

1.一种受激准分子灯，其具有放电容器，该放电容器由相互面对设置的长边面、以及连接该长边面的短边面形成有剖面为矩形形状的管，在该放电容器的所述长边面的外表面上设有一对电极，并且在放电空间内封入有氙气，在所述放电容器的放电空间内产生受激准分子放电，其特征在于，在一侧的长边面的内表面区域上形成有紫外线反射膜，在短边面的内表面区域上形成有膜厚比所述一侧的长边面的与电极对应的内表面区域上形成的紫外线反射膜薄的紫外线反射膜，在另一侧的长边面上通过不形成所述紫外线反射膜而形成光射出窗。