发明名称 透明导电膜用腐蚀液组合物
摘要 本发明是有关于一种透明导电膜用腐蚀液组合物,其在液晶显示器等使用的ITO膜等的透明导电膜用腐蚀处理中草酸铟析出是很少的。通过含有草酸和、碱性化合物(其中三乙醇胺除外)的透明导电膜用腐蚀液组合物,在透明导电膜腐蚀工序中即使腐蚀液中的铟的浓度很高也可以有效地防止草酸铟的析出。
申请公布号 CN101649202A 申请公布日期 2010.02.17
申请号 CN200910164091.1 申请日期 2009.08.10
申请人 关东化学株式会社 发明人 村上豊;石川典夫
分类号 C09K13/00(2006.01)I;C09K13/02(2006.01)I 主分类号 C09K13/00(2006.01)I
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人 寿 宁;张华辉
主权项 1、一种透明导电膜用腐蚀液组合物,其特征在于含有草酸和、碱性化合物。
地址 日本东京都中央区日本桥本町3丁目2番8号