水分生成用反应炉的并列运转方法

摘要

在通过并列运转多座水分生成用反应炉而对应于高纯度水供给量的增大的要求的情况下，本发明能够借助极其简单的孔部件的利用而进行(H₂)和(O₂)的混合气体的分流供给，从而能够使混合气体(原料气体)分流装置简单化和大幅降低设备费。即，本发明的水分生成用反应炉的并列运转方法为，在并列地连接的多个水分生成用反应炉的各混合气体入口侧配设具有既定的口径的小孔的孔部件，通过上述各孔部件向各水分生成用反应炉供给来自混合器的氢和氧的混合气体(G)，并且使在各水分生成用反应炉中生成的水分合流而向高纯度水的使用装置供给。

主权项

1.一种水分生成用反应炉的并列运转方法，其特征为，在多个水分生成用反应炉的各混合气体入口侧配设孔部件且将各孔部件的入口侧向混合气体供给管并列状地连接，通过各孔部件向各水分生成用反应炉分流供给氢和氧的混合气体。