旋转头、操作旋转头的方法及用旋转头处理基板的装置

摘要

本发明公开了旋转头、操作旋转头的方法及用旋转头处理基板的装置，为提高效率而发明。所述旋转头包括：旋转体，卡住/放开工具，驱动单元。所述基板处理装置包括：壳体，旋转头，注入部件。一种操作旋转头的方法，包括：将基板加载到具有顶部表面的物体上，在所述顶部表面上，设置有第一和第二卡销；在第一个处理过程时间里，通过第一卡销卡住基板，并且在旋转该物体时执行基板处理的过程；在第二个处理过程时间里，通过第二个卡销卡住基板，并且在旋转该物体时执行基板处理的过程。本发明能够防止处理液残留在基板的表面，提高处理效率。

主权项

1、一种旋转头，该旋转头包括：旋转体；卡住/放开工具，该卡住/放开工具设置成环形地环绕在该旋转体的顶部表面的中心，并且包括多个用来在处理过程中部分地卡住/放开基板边缘的卡销；驱动单元，用来以预定的角度旋转卡销，来选择性地变化各个卡销与基板接触的部位；其中驱动单元包括：可以上下运动的提升部件，所述提升部件包括提升杆和大致呈环状的提升环，所述提升杆用于上升或下降所述提升环，所述提升环包括第一磁铁；把提升部件的上下运动转换为卡销的旋转运动的运动转换部件，所述运动转换部件包括齿条传动部件和转换部件，所述齿条传动部件安装有第二磁铁，所述第二磁铁垂直正对所述第一磁铁，所述第一磁铁和所述第二磁铁之间的相斥力使所述齿条传动部件上下移动，所述转换部件用于把齿条传动部件的上下运动转换为卡销的旋转运动。