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发明名称
摘要
申请公布号	JP4416195(B2)	申请公布日期	2010.02.17
申请号	JP19980302205	申请日期	1998.10.23
申请人		发明人
分类号	H01J37/147;H01L21/027;G03F7/20;G03F9/00;H01J37/305	主分类号	H01J37/147
代理机构		代理人
主权项
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