| 发明名称 | 靶材与背板的焊接结构及方法 | ||
| 摘要 | 一种靶材与背板的焊接结构及方法。其中靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；对钛靶材和铝背板进行加工，在钛靶材焊接面加工成螺纹状；采用热压方法将钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷冷却。本发明对钛靶材进行机械加工形成螺纹状，能将其表面的氧化层撕裂，对铝背板进行机械加工能使其表面的氧化层变薄，进而使钛靶材和铝背板之间的结合强度提高。 | ||
| 申请公布号 | CN101648316A | 申请公布日期 | 2010.02.17 |
| 申请号 | CN200910140417.7 | 申请日期 | 2009.05.08 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;刘庆 |
| 分类号 | B23K20/00(2006.01)I;B23K20/02(2006.01)I;B23K20/24(2006.01)I | 主分类号 | B23K20/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 丽 |
| 主权项 | 1.一种靶材与背板的焊接方法，其特征在于，包括：提供钛靶材和铝背板；对钛靶材和铝背板进行加工，在钛靶材焊接面加工成螺纹状；采用热压方法将钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷冷却。 | ||
| 地址 | 315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 | ||