用于纳米级位移系统的纳米扫描台

摘要

本发明涉及用于扫描探针显微镜的纳米扫描台，其包括安装于矩形底板上的扫描台支架，纳米扫描台内设有柔性铰链；柔性铰链为四棱短管状，其每一侧壁均为由内侧壁和外侧壁组成的夹层薄壁，每一侧外侧壁均通过细杆连接着内套筒外端，内套筒内侧连接着压电陶瓷管，压电陶瓷管的另一端连接着外套筒内侧，外套筒的外端连接着扫描台支架，且四根压电陶瓷管均布在扫描台的两个对角线方向的四个角处；柔性铰链的轴向顶面连接着样品台。本发明不但保留了传统结构中径向(XY方向)的大扫描范围，更扩大了轴向(Z向)的移动范围；其结构简单，体积小，易于封装；同时也能用于各种需要纳米级位移的系统中。

主权项

1、用于纳米级位移系统的纳米扫描台，其特征在于：所述纳米扫描台包括位于矩形底板(1)上的扫描台支架(2)，扫描台支架(2)顶部设有矩形顶板(3)；所述顶板(3)和底板(1)的中部均设有通孔；与顶板(4)和底板(1)的通孔对应的纳米扫描台内设有柔性铰链(7)；所述柔性铰链(7)为四棱短管状，其每一侧壁均为由内侧壁和外侧壁组成的夹层薄壁，柔性铰链(7)的每一侧外侧壁均通过细杆连接着内套筒(8)外端，内套筒(8)连接着压电陶瓷管，压电陶瓷管的另一端设于外套筒(9)内，外套筒(9)的外端连接着扫描台支架(2)，且柔性铰链(7)四棱外侧的四根压电陶瓷管均布在扫描台的两个对角线方向的四个角处；柔性铰链(7)的轴向顶面连接着样品台(4)，且样品台(4)上部伸至顶板中部的通孔外侧。