发明名称 CARRIER RING FOR CARRIER HEAD
摘要
申请公布号 KR100942624(B1) 申请公布日期 2010.02.17
申请号 KR20070108344 申请日期 2007.10.26
申请人 发明人
分类号 B24B37/04;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
地址