发明名称 |
Substrate inspection apparatus |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2416839(B) |
申请公布日期 |
2010.02.17 |
申请号 |
GB20050015233 |
申请日期 |
2005.07.25 |
申请人 |
HORIBA LTD |
发明人 |
NOBUYUKI NAKA;AKIHIRO KATANISHI;MASAAKI MAGARI;YOSHIYUKI NAKAJIMA;KIMIHIKO ARIMOTO |
分类号 |
G01N21/65;G01J3/44;G01N21/95;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/65 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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