发明名称 太阳能电池的氮氧化物钝化
摘要 一个实施例涉及用于太阳能电池的结构。该结构包括其中具有P型和N型活性扩散区域的硅衬底。至少在该P型(304)和N型(302)活性扩散区域上包括了氮氧化物钝化层(402)。该结构进一步包括穿过该氮氧化物钝化层(402)至该P型(304)和N型(302)活性扩散区域的接触开口(502),和金属网格线(702和704),该金属网格线通过该接触开口(502)选择性地接触该P型(304)和N型(302)活性扩散区域。另一个实施例涉及制造太阳能电池的方法。还公开了其他实施例、方面和特征。
申请公布号 CN101652865A 申请公布日期 2010.02.17
申请号 CN200880011608.7 申请日期 2008.04.04
申请人 太阳能公司 发明人 C·斯通
分类号 H01L31/0216(2006.01)I 主分类号 H01L31/0216(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 代理人 王 勇;姜 华
主权项 1.一种制造太阳能电池的方法,该方法包括:在硅衬底上形成P型和N型活性扩散区域;在该P型和N型活性扩散区域上形成氮氧化物钝化层;形成接触开口,该接触开口穿过该氮氧化物钝化层至该P型和N型活性扩散区域;形成金属网格线,该金属网格线通过该接触开口选择性地接触该P型和N型活性扩散区域。
地址 美国加利福尼亚州