半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统

摘要

本发明涉及半导体制造用竖直传送带与空中升降机组合式自动物料搬运系统。这种高效自动物料搬动系统(AMHS)允许空中升降机直接从包括在该系统中的在制品(WIP)存储单元装载/卸载WIP部件。AMHS包括空中升降机输送子系统和包括多个储料箱的竖直传送带储料器。空中升降机输送子系统包括沿着形成预定路径的悬空轨行驶的空中升降机输送车。预定路径通过竖直传送带储烊器，其允许空中升降机从选择的储料箱直接拾取WIP部件。包含需要的WIP部件组的选择的传送带储料箱被安置在竖直传送带储料器的顶部，位于悬空轨的正下方。空中升降机输送车沿悬空轨运动到大致位于选择的储料箱正上方的位置。然后空中升降机朝选择的储料箱下降。最后操作空中升降机以直接从储料箱拾取需要的在制品组，或将在制品组放入传送带储料箱中。

主权项

1.一种自动物料搬运系统，用于在产品制造设备中的各个位置之间传送物料，包括：至少一个机架，其被设计成容纳着多个储料箱，每个储料箱被设计成保持至少一组物料；以及空中升降机输送子系统，其包括至少一个空中升降机和至少一个空中升降机输送车，所述空中升降机输送车被设计成沿着悬空轨行驶，所述悬空轨限定出邻近于所述机架延伸的至少一个预定路径，并且所述悬空轨布置在机架之外；其中，所述机架的一部分至少部分打开，以允许所述空中升降机直接从由容纳在所述机架中的多个储料箱中所选择的一个储料箱中拾取至少一组物料；所述空中升降机被设计成从多个储料箱中所选择的一个储料箱上直接拾取至少一组物料，以便随后沿着悬空轨输送到产品制造设备中的预定位置，其中，所述至少一个机架被设计作为至少一个固定储料位置。