| 发明名称 | 半导体专用设备用晶片张力调整装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种半导体专用设备用晶片张力调整装置，它包括导轮和摆动气缸，所说导轮的轮轴与一摆杆的一端固定，摆杆的另一端设有与机架铰接的铰轴，摆杆的中部与摆动气缸的活塞杆铰接，摆动气缸的缸体与一底座铰接，摆杆的摆动端与底座间设有拉伸弹簧。本发明结构简单实用、使用方便、工作可靠，由于本装置采用了摆动气缸推拉和拉伸弹簧双重结构的设计，使该装置整体结构紧凑，安装简单，结构可靠、运行平稳，本发明特别适用于对晶片进行加工的半导体专用设备。 | ||
| 申请公布号 | CN101651088A | 申请公布日期 | 2010.02.17 |
| 申请号 | CN200910075362.6 | 申请日期 | 2009.09.11 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 发明人 | 王仲康;衣忠波;杨生荣 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 董金国 |
| 主权项 | 1、一种半导体专用设备用晶片张力调整装置，它包括导轮和摆动气缸，其特征是所说导轮(16)的轮轴(1)与一摆杆(14)的一端固定，摆杆(14)的另一端设有与机架铰接的铰轴(15)，摆杆(14)的中部与摆动气缸(11)的活塞杆铰接，摆动气缸(11)的缸体与一底座(10)铰接，摆杆(14)的摆动端与底座(10)间设有拉伸弹簧(3)。 | ||
| 地址 | 065201河北省三河市燕郊经济开发区海油大街20号 | ||