发明名称 一种定向生长SiC单晶纳米线阵列的方法
摘要 一种定向生长单晶SiC纳米线阵列的新方法,其包括以下具体步骤:(1)聚合物前驱体于260℃保温30min热交联固化,然后球磨粉碎;(2)SiC单晶片在0.1~0.2mol/LFe(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>或Co(NO<sub>3</sub>)<sub>2</sub>乙醇溶液中浸渍5~10s,取出后自然晾干;(3)将粉碎得到的粉末和浸渍处理的SiC基片置于Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>坩埚中;(4)将Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>坩埚置于气氛烧结炉中,在Ar气氛保护下于1350~1550℃范围内进行高温热解,保温5~120min;(5)随炉冷却至室温。与现有采用模板法定向生长SiC纳米结构不同,这种新方法通过SiC单晶片晶格诱导单晶SiC纳米结构大面积定向生长,并可免除后续去除和分离模板的困难和问题。
申请公布号 CN101649491A 申请公布日期 2010.02.17
申请号 CN200910160766.5 申请日期 2009.07.17
申请人 宁波工程学院;清华大学;安立楠 发明人 杨为佑;谢志鹏;王华涛;安立楠
分类号 C30B29/36(2006.01)I;C30B29/62(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I 主分类号 C30B29/36(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1、一种定向生长SiC单晶纳米线阵列的新方法,其包括以下具体步骤:1)聚合物前驱体在气氛烧结炉中于260℃保温30min热交联固化,然后球磨粉碎;2)SiC单晶片在0.1~0.2mol/L Fe(NO3)3或Co(NO3)2乙醇溶液中浸渍5~10s;3)将粉碎得到的粉末和浸渍处理的SiC基片置于Al2O3坩埚中;4)将Al2O3坩埚置于气氛烧结炉中,在Ar气氛保护下于1300~1600℃进行高温热解,保温5~120min;5)随炉冷却至室温。
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