一种纳米传感器的原位测量装置

摘要

本发明公开了一种纳米传感器的原位测量装置，该装置包括一盛装纳米传感器的盒子，该盒子由一盒底和一透明材料的盒盖组成，纳米传感器固定在电学测量基片上，所述电学测量基片放置在盒底内，用盒盖密封住盒底，在所述盒盖或盒底上设有两个微孔，一个微孔与真空抽吸针阀的传导管密封连接，另一个微孔与气/液源的注入阀门的传导管密封连接。利用该装置能够实现精确地向纳米传感器表面注射微量气体或液体，在进行原位测量时，还可以为纳米传感器提供从大气到高真空的气氛环境。与现有技术相比，本发明具有结构简单、成本低、易推广的优点。

主权项

1、一种纳米传感器的原位测量装置，其特征在于，包括一盛装纳米传感器的盒子，该盒子由一盒底和一透明材料的盒盖组成，纳米传感器固定在电学测量基片上，所述电学测量基片放置在盒底内，用盒盖密封住盒底，在所述盒盖或盒底上设有两个微孔，一个微孔与真空抽吸针阀的传导管密封连接，另一个微孔与气/液源的注入阀门的传导管密封连接。