| 发明名称 | 镀膜线旋转靶水头轴套 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种镀膜线旋转靶水头轴套，包括壳体，壳体下端设有凸台，在凸台凸台的下表面设有固定孔，所述凸台的外圆周上设有圆弧凹槽，壳体内部为空心结构，且壳体为2Cr13材料。本实用新型具有提高靶材利用率，减少成本、提高使用寿命、防止水泄漏和靶材打弧的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN201406465Y | 申请公布日期 | 2010.02.17 |
| 申请号 | CN200920043814.8 | 申请日期 | 2009.05.25 |
| 申请人 | 江苏蓝星玻璃有限公司 | 发明人 | 黄林冲;俞立民;王贤荣;陈咏宁 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人 | 顾伯兴 |
| 主权项 | 1、一种镀膜线旋转靶水头轴套，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)下端设有凸台(2)，所述凸台(2)的下表面设有固定孔(3)，所述凸台的外圆周上设有圆弧凹槽(4)，所述壳体(1)内部为空心结构。 | ||
| 地址 | 226006江苏省南通市港闸区长泰路588号 | ||