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发明名称 Fabrication method and fabrication apparatus of group III nitride crystal substance
摘要
申请公布号 EP1803839(B1) 申请公布日期 2010.02.17
申请号 EP20060025043 申请日期 2006.12.04
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 KASAI, HITOSHI;OKAHISA, TAKUJI;FUJITA, SHUNSUKE;MATSUMOTO, NAOKI;IJIRI, HIDEYUKI;SATO, FUMITAKA;MOTOKI, KENSAKU;NAKAHATA, SEIJI;UEMATSU, KOJI;HIROTA, RYU
分类号 C30B23/02;C23C16/44;C30B25/02;C30B29/40 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
主权项
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