基板输送系统

摘要

基板输送系统，具备在预定的轨道(R)上往复移动的移动单元(10)，在沿轨道(R)配置的多个装置之中，从成为基板的输出原位的装置(210)向成为输出目的地的装置(220)输送基板，其中具备：配置在成为基板的输出原位的各个装置(211、212、213)的每个上，载置从成为基板的输出原位的装置输出的基板的载置台(20)；设置在移动单元(10)上，使载置在载置台上的基板升降的升降单元(30)，载置台具备：载置从成为基板的输出原位的装置输出的基板的载置单元(21)；在轨道(R)上且与移动单元(10)相比在上方支承载置单元的支承构件(22)，载置单元具有：在移动单元(10)移动及升降单元(30)升降之际，升降单元(30)通过的通过空间(S)。

主权项

1.一种基板输送系统，所述基板输送系统具备在预定的轨道上往复移动的移动单元，在沿上述轨道配置的多个装置之中，从成为基板的输出原位的装置向成为输出目的地的装置输送基板，其特征在于，具备：配置在成为基板的输出原位的各个上述装置的每个上，载置从成为基板的输出原位的上述装置输出的基板的载置台；设置在上述移动单元上，使载置在上述载置台上的基板升降的升降单元，上述载置台具备：载置从成为基板的输出原位的上述装置输出的基板的载置单元；在上述轨道上，与上述移动单元相比在上方支承上述载置单元的支承构件，上述载置单元具有：在上述移动单元移动及上述升降单元升降之际，上述升降单元通过的通过空间。