微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片

摘要

本发明公开一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，第一镜片为新月形且凹面在微机电反射镜侧的镜片，第二镜片为双凹形镜片，其中第一镜片具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面为非球面，第二镜片具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面为非球面，主要将微机电反射镜反射的角度与时间为非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点，并修正聚光于目标物上，且第一镜片及第二镜片均满足特定的光学条件，通过第一镜片及第二镜片的设置，可达到线性扫描效果与高分辨率扫描的目的。

主权项

1、一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，该二片式fθ镜片适用于微机电激光扫描装置，该微机电激光扫描装置至少包含用以发射光束的光源、用以共振左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及用以感光的目标物；所述二片式fθ镜片包含，从所述微机电反射镜依次起算，由新月形且凹面在所述微机电反射镜侧的第一镜片及双凹形的第二镜片，其中所述第一镜片具有第一光学面及第二光学面，所述第一光学面与第二光学面在主扫描方向至少有一个光学面为非球面，将所述微机电反射镜反射的角度与时间为非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点；其中所述第二镜片具有第三光学面及第四光学面，所述第三光学面与第四光学面在主扫描方向至少有一个光学面为非球面，将所述第一镜片的扫描光线修正聚光于所述目标物上；通过所述二片式fθ镜片将所述微机电反射镜所反射的扫描光线在所述目标物上成像。