超高真空直线导入器

摘要

本实用新型涉及真空设备。超高真空直线驱动器，涉及导入棒，外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。本实用新型旋套式直线驱动，安装时角度自由，波纹管密封效果好，达到放出气体少的要求，波纹管压缩和伸展配合直线驱动自由，手动控制直线驱动，位置控制精确。

主权项

1、超高真空直线导入器，涉及导入棒，其特征是：外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。