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发明名称 CAPACITANCE SENSING FOR SUBSTRATE COOLING
摘要
申请公布号 EP1761734(A4) 申请公布日期 2010.02.17
申请号 EP20050741934 申请日期 2005.05.06
申请人 INTEVAC, INC. 发明人 ROGERS, JAMES, H.;HOFFMAN, BRIAN
分类号 F25D23/12;G11B5/84;H01L21/00 主分类号 F25D23/12
代理机构 代理人
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