用于测量质量流控制器中的气体的温度的方法和装置

摘要

描述了用于测量质量流控制器中的气体的温度的方法和装置。一个实施例在不取决于单独温度传感器的情况下从质量流控制器的质量流传感器中导出气体-温度信息。该实施例向质量流控制器的热质量流传感器提供了基本恒定的电流，将所述热质量流传感器设计为测量气体的质量流率；测量热质量流传感器的输入电压以获得当前输入电压，所述输入电压随热质量流传感器的一对感测元件之间的温度差而变化；通过取决于气体的质量流率的当前输入电压的分量计算经调节的输入电压；以及基于经调节的输入电压计算气体的温度。

主权项

1、一种用于测量质量流控制器中的气体的温度的方法，所述方法包括：向所述质量流控制器的热质量流传感器提供基本恒定的电流，所述热质量流传感器被设计为测量所述气体的质量流率；测量所述热质量流传感器的输入电压以获得当前输入电压，所述输入电压随所述热质量流传感器的一对感测元件之间的温度差而变化；通过取决于所述气体的质量流率的所述当前输入电压的分量来计算经调节的输入电压；以及基于所述经调节的输入电压计算所述气体的温度。