压电元件驱动式控制阀

摘要

在压电促动器(16)收缩时缓解在压电元件上产生的张力，即使在高温环境下也能够进行稳定的流量控制。本发明的压电元件驱动式控制阀包括如下部分：具有阀座(8d)的主体(8)；抵接或离开阀座(8d)的金属隔膜(9)；自由升降地支撑于主体(8)侧的促动器盒(13)；固定在主体(8)侧的分割基座(11)；向下方推压并驱策促动器盒(13)而使金属隔膜(9)抵接阀座(8d)的碟形弹簧(15)；以及容纳在促动器盒(13)内、因电压的施加向上方伸长并逆着碟形弹簧(15)的弹性力上推促动器盒(13)的压电促动器(16)，其中，在分割基座(11)和压电促动器(16)之间设有始终在压电促动器(16)的压电元件上施加压缩力的预压机构(20)。

主权项

1.压电元件驱动式控制阀，包括如下部分：在上方敞开的阀室(8a′)的底面形成阀座(8d)的主体(8)；配设在阀室(8a′)内、在向下方的推压的作用下抵接阀座(8d)且在推压力丧失时在其弹性力的作用下从阀座(8d)离开的金属隔膜(9)；自由升降地支撑于主体(8)侧、在下端设有抵接金属隔膜(9)的上面的隔膜压按件(14)的有底筒状的促动器盒(13)；固定在主体(8)侧、具有插入形成于促动器盒(13)的下端部周壁的纵长的导孔(13c)中并与促动器盒(13)的底壁(13a)上面相对的上壁(11b)的分割基座(11)；设置在促动器盒(13)的底壁(13a)与分割基座(11)的上壁(11b)之间、向下方推压并驱策促动器盒(13)并借助于隔膜压按件(14)使金属隔膜(9)抵接阀座(8d)的碟形弹簧(15)；以及容纳在促动器盒(13)内、上端可调整位置地支撑于促动器盒(13)的上端部侧且下端支撑于分割基座(11)的上壁(11b)侧的压电促动器(16)，其中，通过给压电促动器(16)的压电元件施加电压，压电促动器(16)向上方伸长，并逆着碟形弹簧(15)的弹性力向上方上推促动器盒(13)，使得金属隔膜(9)在其弹性力的作用下从阀座(8d)离开，其中，在所述分割基座(11)的上壁(11b)与压电促动器(16)的下端之间设有始终在压电促动器(16)的压电元件上施加压缩力的预压机构(20)。