二轴反射镜选色微反射镜成像器

摘要

本发明描述了可控的反射装置，该反射装置具有能够在至少四个方向上枢转的二轴反射镜阵列。微反射镜阵列的每个微反射镜通过扭转枢轴被轭支撑，该轭由第二共面垂直扭转枢轴附着到反射镜阵列支撑物。反射镜和轭电导通到反射镜阵列支撑物上的被所有反射镜/轭组件共享的公共节点。在每个反射镜/轭组件的下面，反射镜阵列支撑物具有彼此电隔离且与反射镜/轭组件电隔离的四个板区域。响应来自集成在反射镜阵列支撑物上的驱动器开关的电信号，成对驱动的这些板区域选择性提供相对于公共节点的电场。该电场吸引反射镜和轭，以促进反射镜/轭组件运动到期望的反射状态。

主权项

1、一种具有多个微反射镜的投影系统，包括：板，其中至少具有四个导电区域；反射镜；轭，设置在该板和该反射镜之间；以及第一枢轴装置和第二枢轴装置，将该轭连接到该反射镜和该板，使得该反射镜至少在四个方向上是可运动的。