探针卡及探针卡的制造方法

摘要

一种探针卡，不需要复杂的结构等，就能够针高度无偏差地高密度且高精度配设微小探针。设置在晶片试验装置上的探针卡(1)，包括：基板(10)，具有传送外加给作为试验对象的晶片的测试信号的布线图形；形成在基板(2)的表面上的组合基板(10)；硅制探针(20)，配设在组合基板(10)上，与表面布线图形(11)连接，形成梳形状；平坦部(12)，镀膜形成在组合基板(10)的表面布线图形(11)上，通过研磨使表面平坦化。通过在平坦部(12)上搭载探针(20)，形成将其组装在基板(2)上的构成。

主权项

1.一种探针卡，设置在晶片试验装置上，其特征在于，包括：基板(2)，具有传送外加给作为试验对象的晶片的测试信号的第一布线图形(2a)；探针，与所述第一布线图形(2a)连接，与所述晶片的电极接触；组合基板(10)，形成在所述基板(2)的表面上；第二布线图形(11)，其形成于所述组合基板(10)的绝缘层，且经由所述组合基板(10)的通孔(10a)而与所述基板(2)的所述第一布线图案(2a)连接；平坦部，通过研磨所述组合基板(10)和所述第二布线图形(11)的表面使该表面平坦化而形成、并且搭载有所述探针，所述探针通过搭载在所述平坦部上而使搭载的多个探针的高度均匀。