一种刮刀平整度检测系统

摘要

本发明提供一种利用劈尖干涉原理检测刮刀平整度的检测系统及方法。该刮刀平整度检测系统包括：光源(激光器)系统，光束整形系统，感测系统；光源系统为单色He-Ne激光器；光束整形系统由光阑、半透半反镜组成；感测系统由标准样板和CCD检测装置构成。此种检测系统可快速、准确、无磨损地检测刮刀工作面平整度。

主权项

1、一种用于检测刮刀平整度的检测系统，其特征在于：该刮刀平整度检测系统包括光源(激光器)系统，光束整形系统及感测系统；光束整形系统由光阑、半透半反镜组成；感测系统由标准样板和CCD检测装置构成。