液晶显示装置及其制造方法

摘要

本发明涉及液晶显示装置及其制造方法。采用半色调图像曝光技术，在1次的照相蚀刻工序上，形成沟道蚀刻型的绝缘栅极型薄膜晶体管的半导体层以及源极/漏极布线，以往删减制造工序数的制造方法，不但会逐渐缩小制造上的余裕(Margin)，源极/漏极布线间的距离也会变短，进而导致良品率及性能下降。形成由透明导电层与低电阻金属之间的层叠构成的信号线与模拟象素电极，在对钝化绝缘层形成开口部时，去除模拟象素电极上的低电阻金属层，会取得透明导电层构成的象素电极，使信号线的形成工序及象素电极的形成工序得以合理化的新技术，以及在半导体层形成时，去除栅极绝缘层，使接触点形成工序合理化的技术。

主权项

1.一种液晶显示装置，其是通过在一个主平面上至少具备绝缘栅极型晶体管、兼作上述绝缘栅极型晶体管的栅极的扫描线及兼作源极布线的信号线、以及被连接到漏极布线的象素电极而构成的单位象素被排列成二维矩阵的第1透明性绝缘基板，与上述第1透明性绝缘基板对置的第2透明性绝缘基板或滤色片之间填充液晶而构成的，其特征是：透明导电层与低电阻金属层所连续层叠成的兼作源极布线的信号线、和兼作模拟象素电极的漏极布线，经由连续层叠的含杂质的第2半导体层与耐热金属层，连接至构成沟道的不含杂质第1半导体层，其中上述耐热金属层位于上述透明导电层和上述含杂质的第2半导体层之间，在该第1透明性绝缘基板上，去除形成在一种钝化绝缘层内的第1开口部中的该模拟象素电极上的低电阻金属层，以外露透明导电性的象素电极；在第1透明性绝缘基板的主平面上，形成至少由一层以上的第1金属层所构成的层叠的扫描线，在栅极上，形成比栅极宽的岛状的一种层叠，并且是由栅极绝缘层以及不含杂质的第1半导体层所组成，在扫描线与信号线的交叉点附近，也同样形成比扫描线宽的岛状的该层叠，在该栅极上的上述第1半导体层上，形成包括含杂质的第2半导体层和耐热金属层的层叠的一对源极和漏极以重叠该栅极，并且在扫描线与信号线的交叉点的该第1半导体层上，形成一种岛状且包括含杂质的第2半导体层和耐热金属层的层叠，在上述源极上、第1透明性绝缘基板上，以及扫描线与信号线交叉点上的耐热金属层上，由透明导电层与低电阻金属层层叠成信号线，在上述漏极上与第1透明性绝缘基板上形成透明导电性的象素电极，该象素电极的周围层叠了低电阻金属层，在图像显示部外的区域，第1透明性绝缘基板上形成含有扫描线的一部份的透明导电性扫描线电极端子，及在图像显示部外的区域，由信号线的一部份形成信号线的透明导电性的电极端子，在上述第1透明性绝缘基板上，形成在上述象素电极上、在上述扫描线的电极端子和信号线的电极端子上具有第2开口部的钝化绝缘层。