一种谐振式微机械陀螺

摘要

一种谐振式微机械陀螺，包括梳状叉指驱动器、平板质量块、杠杆放大机构和双端音叉谐振器。在梳状叉指驱动器上加驱动电压时，平板质量块作沿x轴方向的振荡运动，并在外部绕z轴的旋转作用下产生沿y方向的科氏力，通过杠杆放大机构放大后传递到对称分布的两个双端音叉谐振器上，使其谐振运动受到周期性的调制，测量这两个双端音叉谐振器的差动输出可实现对输入角频率的测量。本发明的结构形式提高了微机械陀螺的灵敏度、分辨率和动态范围，实现了将陀螺敏感角速度产生的科氏力的变化转换成谐振器谐振频率的变化，有效避免了电容检测中噪声干扰的影响，且易于数字信号处理。

主权项

1、一种谐振式微机械陀螺，其特征在于：包括梳状叉指驱动器(1)、平板质量块(2)、杠杆放大机构(3)和双端音叉谐振器(4)，整个结构为轴对称图形，中间为平板质量块(2)，其x方向上放置两个固定于基底上的梳状叉指驱动器(1)，其y方向上设置一对杠杆放大机构(3)，并与外侧两个双端音叉谐振器(DETF)(4)相连，平板质量块(2)受外侧梳状叉指驱动器(1)的静电力驱动，沿x方向作振荡运动，沿z轴负方向的外界加速度将使平板质量块(2)受到沿y方向的科氏力，并通过杠杆放大机构(3)放大后传递到对称分布的两个双端音叉谐振器(4)上，且大小相等方向相反，使其谐振运动受到周期性的调制，测量这两个双端音叉谐振器(4)的差动输出可实现对输入角频率的测量。