发明名称 半导体纳米复合薄膜的制备方法
摘要 本发明公开了一种半导体纳米复合薄膜的制备方法。本发明将可形成硫化镉纳米颗粒的分子前驱体溶于氧化钛溶胶,从而实现前驱体与氧化钛胶粒分子级别的均匀混合,将此溶胶再进行涂膜,进而进行热处理,在热处理过程中前驱体在氧化钛膜中原位形成硫化镉纳米颗粒。
申请公布号 CN100590895C 申请公布日期 2010.02.17
申请号 CN200710078087.4 申请日期 2007.12.25
申请人 中国科学院兰州化学物理研究所 发明人 娄文静;王晓波;郝京诚;陈淼
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/368(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 兰州中科华西专利代理有限公司 代理人 方晓佳
主权项 1、一种半导体纳米复合薄膜的制备方法,其特征在于该方法包含以下步骤:(a)配制前驱体溶液,所述的前驱体是指双烷基双硫代磷酸镉盐,溶液中的溶剂选自N,N-二甲基甲酰胺、丙酮、甲醇或乙醇;(b)将前驱体溶液与氧化钛溶胶混合均匀;(c)在基材表面涂膜;(d)将涂膜后的基材在200~800℃下进行热处理后,得到CdS/TiO2半导体纳米复合薄膜。
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