一种三维显微观测装置

摘要

本实用新型公开了一种三维显微观测装置，该装置包括有光源、分光单元、A光束准直器、A反射镜、B反射镜、B光束准直器、光照明单元、消偏振分光棱镜和CMOS相机；本实用新型装置的光路为：光源出射的激光入射至分光单元中，经分光单元进行分光处理后输出A激光、B激光；A激光顺次经A光束准直器、A反射镜后输出第一平行光入射至消偏振分光棱镜；B激光顺次经B反射镜、B光束准直器、光照明单元后照射到待观测物体上，由待观测物体反射的包含物体形貌信息的物光入射至消偏振分光棱镜；消偏振分光棱镜对入射的第一平行光、物光进行合光处理得到合并光束，该合并光束形成的干涉全息图被CMOS相机的光敏面捕获。

主权项

1、一种基于数字全息的长工作距离原位三维显微观测装置，其特征在于：该装置包括有光源(1)、分光单元(2)、A光束准直器(3)、A反射镜(4)、B反射镜(11)、B光束准直器(12)、光照明单元(13)、消偏振分光棱镜(5)和CMOS相机(6)；光源(1)出射的激光(1a)入射至分光单元(2)中，经分光单元(2)进行分光处理后输出A激光(21)、B激光(22)；A激光(21)顺次经A光束准直器(3)、A反射镜(4)后输出第一平行光(4a)入射至消偏振分光棱镜(5)；B激光(22)顺次经B反射镜(11)、B光束准直器(12)、光照明单元(13)后照射到待观测物体(14)上，由待观测物体(14)反射的包含物体形貌信息的物光(14a)入射至消偏振分光棱镜(5)；消偏振分光棱镜(5)对入射的第一平行光(4a)、物光(14a)进行合光处理得到合并光束(5a)，该合并光束(5a)形成的干涉全息图被CMOS相机(6)的光敏面捕获。