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发明名称
摘要
申请公布号 JP4418037(B2) 申请公布日期 2010.02.17
申请号 JP19970203204 申请日期 1997.07.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/764;H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/764
代理机构 代理人
主权项
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