发明名称 晶粒安装模具
摘要 本实用新型涉及一种半导体加工工具,具体地说涉及一种晶粒安装模具,其包括上本体和下本体,晶粒模具下本体具有柱状的到位孔,晶粒模具上本体具有倒台型的凹槽,上本体和下本体重合后具有凹槽的下部与到位孔的上部相通的结构。用于安装晶粒具有安装迅速、没有空穴的优点。
申请公布号 CN201408747Y 申请公布日期 2010.02.17
申请号 CN200920090279.1 申请日期 2009.05.15
申请人 河南鸿昌电子有限公司 发明人 陈建民;陈建卫;陈磊;陈燕青;郭晶;惠小青;刘栓红;赵丽萍;张林冲;张甜甜;张文涛
分类号 H01L21/56(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I 主分类号 H01L21/56(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1、晶粒安装模具,包括上本体和下本体,其特征在于:晶粒模具下本体具有柱状的到位孔,晶粒模具上本体具有倒台型的凹槽,上本体和下本体重合后具有凹槽的下部与到位孔的上部相通的结构。
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