发明名称 | 晶粒安装模具 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种半导体加工工具,具体地说涉及一种晶粒安装模具,其包括上本体和下本体,晶粒模具下本体具有柱状的到位孔,晶粒模具上本体具有倒台型的凹槽,上本体和下本体重合后具有凹槽的下部与到位孔的上部相通的结构。用于安装晶粒具有安装迅速、没有空穴的优点。 | ||
申请公布号 | CN201408747Y | 申请公布日期 | 2010.02.17 |
申请号 | CN200920090279.1 | 申请日期 | 2009.05.15 |
申请人 | 河南鸿昌电子有限公司 | 发明人 | 陈建民;陈建卫;陈磊;陈燕青;郭晶;惠小青;刘栓红;赵丽萍;张林冲;张甜甜;张文涛 |
分类号 | H01L21/56(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/56(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 1、晶粒安装模具,包括上本体和下本体,其特征在于:晶粒模具下本体具有柱状的到位孔,晶粒模具上本体具有倒台型的凹槽,上本体和下本体重合后具有凹槽的下部与到位孔的上部相通的结构。 | ||
地址 | 461000河南省长葛市钟繇大道中段河南鸿昌电子有限公司 |