发明名称 |
晶体硅太阳能电池扩散炉 |
摘要 |
本实用新型涉及太阳能电池生产设备,尤其是一种晶体硅太阳能电池扩散炉。它具有扩散炉管,在扩散炉管和扩散源之间设置有气体缓冲装置,气体缓冲装置的相对两侧分别设有进气孔和出气孔,出气孔通过连接管与扩散炉管的进气口连通。通过气体缓冲装置对扩散源进行充分混合,以提高通入到扩散炉管内扩散源的饱和蒸汽压,从而提高扩散炉管的扩散的掺杂均匀性,且该设备结构简单,安装方便,安全性好。 |
申请公布号 |
CN201408773Y |
申请公布日期 |
2010.02.17 |
申请号 |
CN200920041708.6 |
申请日期 |
2009.04.01 |
申请人 |
常州天合光能有限公司 |
发明人 |
焦云峰;黄强;张军;陈亮;盛键 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
常州市维益专利事务所 |
代理人 |
王凌霄 |
主权项 |
1.一种晶体硅太阳能电池扩散炉,具有扩散炉管(1),其特征是:扩散源和扩散炉管(1)之间设置有气体缓冲装置(2),气体缓冲装置(2)的相对两侧分别设有进气孔(3)和出气孔(4),出气孔(4)通过连接管(5)与扩散炉管(1)的进气口连通。 |
地址 |
213031江苏省常州市新北区电子产业园天合路2号 |