| 摘要 |
<p>【課題】半導体チップをバランスよく保持しながら突き出すことで、保持テープから安定に分離させることができる半導体チップ突き出し装置を提供する。【解決手段】半導体チップを上へ突き出す半導体チップ突き出し装置２であって、上面から下面まで貫通する貫通孔２２４を有する保持テープ設置台２２と、貫通孔を経由して保持テープ設置台により保持される保持テープを突き上げることができる突き出し手段と、突き出し手段を駆動する駆動手段とを備えており、突き出し手段は、上下両端にそれぞれ開口を有する管状に形成されるスリーブ体４２と、スリーブ体の管内に配置される突き出しピン３２とを有するように構成され、駆動手段は、スリーブ体及び突き出しピンを同時駆動して、貫通孔を経由して保持テープ設置台の上方に露出させた後、スリーブ体を下へ移動させるように配置構成される。【選択図】図１</p> |
