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发明名称 Method for a micro pattern in a semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100942078(B1) 申请公布日期 2010.02.12
申请号 KR20070138492 申请日期 2007.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F1/00;G03F1/68;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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