| 摘要 |
<p>L'invention concerne un dispositif de génération de plasma radiofréquence, comprenant : -un module de commande (30) générant un signal de commande (V1) à une fréquence de commande, -un circuit d'alimentation (20) comprenant un interrupteur (M) commandé par le signal de commande, l'interrupteur appliquant un signal d'excitation (V2) sur une sortie du circuit d'alimentation à la fréquence définie par le signal de commande, -un résonateur (10) présentant une fréquence de résonance supérieure à 1 MHz, connecté à la sortie du circuit d'alimentation et adapté à générer une tension (U(t)) pour la fabrication d'une étincelle lorsqu'il est excité par le signal d'excitation, ledit dispositif étant caractérisé en ce qu'il comprend des moyens (40, 50) de contrôle du module de commande (30), adaptés à modifier la fréquence du signal d'excitation du résonateur de manière synchrone avec le signal de commande, pendant l'application dudit signal d'excitation.</p> |
