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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100942462(B1) 申请公布日期 2010.02.12
申请号 KR20070079582 申请日期 2007.08.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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