特征之强化成像

摘要

本发明揭示一种特征之强化成像。藉由热传递使特征图案成像之方法涉及控制复数个光束之强度。使一特征之边缘部分成像的光束之强度可设定为与使该特征之内部部分成像的光束之强度不同。可对使一特征之内与外边缘成像之光束加以控制以具有不同强度。用于使特征图案成像的装置可包含一控制器，其系经组态用以维持用于一多通道成像头之通道的强度资讯。该控制器使用该强度资讯来设定该成像头之一目前长条中与正在成像之特征之边缘部分相对应的此等通道之强度。

主权项

一种藉由雷射诱导热传递使一特征成像的方法，该方法包含：在包含一施体元件与一接收器元件的一基板上，沿着对应扫描线在一扫描方向上扫描复数个可独立控制光束，各光束系可操作用于在该接收器元件上形成一对应影像像素；藉由操作该等光束之一连续群组以将一影像形成材料从该施体元件传递至该接收器元件来使一特征成像；及使该特征成像的同时，控制与沿着该特征之一第一边缘延伸的该特征之一第一部分相对应的该等光束之一或多个光束之一第一边缘子群组以及与沿着该特征之一第二边缘延伸的该特征之一第二部分相对应的该等光束之一或多个光束之一第二边缘子群组的强度，以具有不同于与该特征之一内部部分相对应的该等光束之一或多个光束之一内部子群组之强度的强度。