一种二维光电式高精度角度量测系统

摘要

一种二维光电式高精度角度量测系统，可同时量测两个轴向角度变化，其精度决定于系统的体积大小；系由一雷射光源、一位置感测器以及三反射镜所构成，其中单面反射镜固定于待测物上，而雷射光源以及位置感测器及其余两面反射镜均固定于系统夹具上；当雷射光源发出的光束被待测物上的反射镜反射回系统时，雷射光束会在固定于系统夹具的两面反射镜间多次反射，最后投射到二维位置感测器上，透过分析二维位置感测器上的光点位置变化，即可得到待测物两个轴向角度变化。

主权项

一种二维光电式高精度角度量测系统，系包含：一待测物；一系统夹具；一雷射光源，系固定于系统夹具上，且该雷射光源提供相同波长的雷射光束；三反射镜，其一反射镜固定于待测物上，而其余两面反射镜固定于系统夹具之上，以提供雷射光束反射；一位置感测器，其架设于系统夹具上，撷取雷射光束位置。