一种绕射式六自由度光电量测系统

摘要

一种绕射式六自由度光电量测系统，系由可放置多道雷射光源的雷射塔、四个二维位置感测器及两个反射式光栅所组成。本发明将雷射塔置放于待测物之上，并将四个二维位置感测器及两个反射式光栅藉由系统夹治具放置于特定的位置上，使得四个二维位置感测器可以接受到两个反射式光栅所产生的绕射光；雷射塔发出的雷射光会投射在反射式光栅上，并产生绕射光，透过光的绕射可以增加本发明的系统精度，本发明可计算得到待测物的六个自由度变化以及应用于微动平台的六自由度量测及旋转件360度六自由度校正。

主权项

一种绕射式六自由度光电量测系统，系包含：多道雷射光源，系固定于雷射塔上，且该雷射光源提供相同波长的雷射光束；四位置感测器，系撷取雷射光束位置；二光栅，提供产生绕射光；以及二系统夹治具，提供二位置感测器以及一光栅架设固定。