发明名称 METHODS OF ETCHING CHROMIUM PATTERNS AND PHOTOLITHOGRAPHIC MASKS SO PRODUCED
摘要
申请公布号 US3539408(A) 申请公布日期 1970.11.10
申请号 USD3539408 申请日期 1967.08.11
申请人 WESTERN ELECTRIC CO. INC. 发明人 GEORGE R. CASHAU;JAMES W. GEORGE
分类号 C23F1/26;G03F1/08;(IPC1-7):C23F1/02 主分类号 C23F1/26
代理机构 代理人
主权项
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