METHOD FOR FORMING A COATING WITH A LIQUID, AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号KR20070073203-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR FORMING A COATING WITH A LIQUID, AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	KR100941837(B1)	申请公布日期	2010.02.11
申请号	KR20070073203	申请日期	2007.07.23
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;H01L21/02;H01L21/08	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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