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发明名称 UNIT FOR PROVIDING CHEMICAL LIQUID, APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100941075(B1) 申请公布日期 2010.02.09
申请号 KR20070138664 申请日期 2007.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/027 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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