Reinraumtaugliche Linearführung

摘要

Um eine reinraumtaugliche Linearführung mit einer Schiene (1) und einem Laufwagen (2) zu schaffen, dessen Laufwagen mit einer Anwendungsplattform (4) mittels Schrauben (6) verbunden ist, wird vorgeschlagen, dass eine der Schrauben (6) eine Vakuumschraube mit einem axialen Kanal (6.1) ist, durch den Partikel aus einem Luftspalt (10) zwischen Schiene (1) und Laufwagen (2) absaugbar sind.