发明名称 Siliziumkarbidhalbleiterbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE602004024738(D1) 申请公布日期 2010.02.04
申请号 DE20046024738T 申请日期 2004.03.18
申请人 PANASONIC CORP. 发明人 KUSUMOTO, OSAMU;KITABATAKE, MAKOTO;TAKAHASHI, KUNIMASA;YAMASHITA, KENYA;MIYANAGA, RYOKO;UCHIDA, MASAO
分类号 H01L21/28;H01L21/335;H01L21/04;H01L23/485;H01L29/24;H01L29/45;H01L29/78;H01L29/808;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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