| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil mit den Schritten: Anordnen eines Elektrodenkamms (50) in einer Halterung (54, 56), wobei eine erste Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) in einem Abstand ungleich Null zu einer Glasoberfläche (58) der Halterung (54, 56) angeordnet wird, und wobei der Elektrodenkamm (50) über mindestens ein an einer zweiten Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) angeordnetes Verbindungsteil mit der Halterung (54, 56) verbunden wird; Anlegen einer Spannung zwischen der ersten Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) und der Glasoberfläche (58), so dass der Abstand zwischen der ersten Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) und der Glasoberfläche (58) reduziert wird; und anodisches Festbonden der ersten Teiloberfläche des Elektrodenkamms (50) an der Glasoberfläche (58). Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil und ein mikromechanisches Bauteil.
|
