发明名称 Halbleitervorrichtung mit selbstausgerichtetem vergrabenem Kontaktpaar und Verfahren zum Ausbilden desselben
摘要
申请公布号 DE102004021636(B4) 申请公布日期 2010.02.04
申请号 DE200410021636 申请日期 2004.05.03
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 YUN, CHEOL-JU;CHO, CHANG-HYUN;CHUNG, TAE-YOUNG
分类号 H01L21/28;H01L27/108;H01L21/02;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/088;H01L29/417 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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