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发明名称
Halbleitervorrichtung mit selbstausgerichtetem vergrabenem Kontaktpaar und Verfahren zum Ausbilden desselben
摘要
申请公布号
DE102004021636(B4)
申请公布日期
2010.02.04
申请号
DE200410021636
申请日期
2004.05.03
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.
发明人
YUN, CHEOL-JU;CHO, CHANG-HYUN;CHUNG, TAE-YOUNG
分类号
H01L21/28;H01L27/108;H01L21/02;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/088;H01L29/417
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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