| 发明名称 |
POLYCRYSTALLINE FILM HAVING CONTROLLED GRAIN SIZE AND METHOD OF MAKING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3558374(A) |
申请公布日期 |
1971.01.26 |
| 申请号 |
USD3558374 |
申请日期 |
1968.01.15 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
DAVID W. BOSS;VEN Y. DOO;WILLIAM N. PATTERSON |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/00;C30B25/02;C30B29/06;C30B31/06;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/331;H01L21/763;H01L21/86;H01L27/00;H01L29/04;H01L29/73;H01L29/78;(IPC1-7):H01L7/36 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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