ARRANGEMENT AND METHOD FOR GENERATING A PLASMA HAVING A DEFINED AND STABLE IONIZATION STATE
摘要
<p>Die Erfindung betrifft einen Pulserzeuger für Sputteranlagen, mit welchem Pulse mit zumindest phasenweise konstantem Stromfluss erzeugbar sind sowie ein Verfahren zur Anregung und/oder Erzeugung eines Plasmas mit derartigen Pulsen. Die Erfindung betrifft außerdem eine Sputteranlage.</p>
申请公布号
WO2010012293(A1)
申请公布日期
2010.02.04
申请号
WO2008EP06373
申请日期
2008.08.01
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;IFU DIAGNOSTIC SYSTEMS GMBH;WALLENDORF, TILL;BANDORF, RALF;VERGOEHL, MICHAEL
