摘要 |
Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Struktur (1), insbesondere Sensor oder Aktor, mit mindestens einem von mindestens zwei relativ zueinander verstellbaren Strukturabschnitten (6, 7, 8, 9) begrenzten Arbeitsspalt (4, 5) und mit Mitteln zum Einstellen der Arbeitsspaltbreite. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Mittel den Arbeitsspalt (4, 5) durch Verstellen des mindestens einen, während des Betriebs der mikromechanischen Struktur (1) relativ zu einem Bezugspunkt festehenden, Strukturabschnitts (6, 7) relativ zu dem, im Betrieb relativ zu diesem Bezugspunkt beweglichen, Strukturabschnitt (8, 9) verbreiternd ausgebildet sind. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Einstellen einer Arbeitsspaltbreite.
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