发明名称 Mikromechanische Struktur sowie Verfahren zum Einstellen der Arbeitsspaltbreite einer mikromechanischen Struktur
摘要 Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Struktur (1), insbesondere Sensor oder Aktor, mit mindestens einem von mindestens zwei relativ zueinander verstellbaren Strukturabschnitten (6, 7, 8, 9) begrenzten Arbeitsspalt (4, 5) und mit Mitteln zum Einstellen der Arbeitsspaltbreite. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Mittel den Arbeitsspalt (4, 5) durch Verstellen des mindestens einen, während des Betriebs der mikromechanischen Struktur (1) relativ zu einem Bezugspunkt festehenden, Strukturabschnitts (6, 7) relativ zu dem, im Betrieb relativ zu diesem Bezugspunkt beweglichen, Strukturabschnitt (8, 9) verbreiternd ausgebildet sind. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Einstellen einer Arbeitsspaltbreite.
申请公布号 DE102008040854(A1) 申请公布日期 2010.02.04
申请号 DE200810040854 申请日期 2008.07.30
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 FRIEDRICH, THOMAS;MEISEL, DANIEL CHRISTOPH;RAUDZIS, CARSTEN
分类号 B81B3/00;B81B5/00;B81C1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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